Каталитические установки очистки технологических газов GateKeeper GPU

Добавить в избранное

Каталитические очистители технологических газов ENTEGRIS GateKeeper GPU

Для заказа нужно ответить на несколько вопросов
Оперативный ответ можно получить в онлайн-чате или по телефону
Заказать Быстрый заказ
Каталитические очистители GateKeeper Gas Purifier Unit (GPU)

на основе неорганических соединений предназначены для финишной очистки ОСЧ-газов до уровней концентрации примесей ppb (млрд.-1) и ppt (трлн.-1) и являются экономически-эффективным оборудованием для защиты технологических процессов или оборудования от загрязнений.

Каталитические очистители GateKeeper GPU работают при комнатной температуре и не требуют электропитания, обеспечивая очистку газов с расходами от 1 л/мин до 1200 м3/ч (в зависимости от модели).

Очистители GateKeeper могут применяться как самостоятельные изделия, так и встраиваться в системы очистки или прямо в технологическое оборудование.

Регенерируемые и энергонезависимые очистители GateKeeper GPU являются экономичной и экологичной альтернативой нерегенерируемым геттерам, очистителям на основе органометаллических смол и очистителям с палладиевыми мембранами.

Применение очистителей

Тип очищаемого газа Применение
— H —
ВОДОРОД
  • Финишная очистка водорода и смесей H2/инерт.
  • Буфер при аварийных ситуациях на ВКС; попадании примесей при смене баллонов, ненадлежащем качестве закупленного водорода.
  • Очистка от примесей углеводородов.
— I —
ИНЕРТНЫЕ ГАЗЫ
  • Финишная очистка N2, He, Ne, Kr, Xe, Ar от O2, H2, CO, CO2 и H2O до уровней суб-ppb.
  • Буфер при аварийных ситуациях на газификаторе или генераторе; попадании примесей при смене баллонов, ненадлежащем качестве закупленного газа.
  • Очистка от примесей углеводородов.
— SK —
ГИДРИДНЫЕ ГАЗЫ
  • Финишная очистка NH3, AsH3, PH3, SiH 4, и GeH4. от O2, CO2, H2O и продуктов окисления до уровней суб-ppb.
  • Буфер при попадании примесей при смене баллонов, ненадлежащем качестве закупленного газа.
  • Очистка от примесей углеводородов.
— O —
ВОЗДУХ (CDA)
  • Финишная очистка CDA (чистый сухой воздух).
  • Буфер при аварийных ситуациях на предварительном очистителе; попадании примесей при смене баллонов,
  • Очистка от примесей углеводородов.
— N —
НЕРЕАКТИВНЫЕ ГАЗЫ
  • Финишная очистка SF6, O2, N2O и смесей O2 /инерт от CO2 и H2O до уровней суб-ppb.
  • Буфер при попадании примесей при смене баллонов, ненадлежащем качестве закупленного газа.
  • Очистка от примесей углеводородов.
— С —
КОРРОЗИОННЫЕ ГАЗЫ
  • Финишная очистка HCl, Cl2, HBr, BCl3, SiCl4 и SiF4 от H2O до уровня суб-ppb.
  • Буфер при попадании примесей при смене баллонов, ненадлежащем качестве закупленного газа.
  • Очистка от примесей углеводородов.
— LK —
ОКИСЬ УГЛЕРОДА
  • Финишная очистка CO от H2O и карбонилов до уровней суб-ppb.
  • Буфер при попадании примесей при смене баллонов, ненадлежащем качестве закупленного газа.
  • Очистка от примесей углеводородов.
— 200М —
ОЧИСТИТЕЛЬ БОЛЬШОЙ ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТИ
  • Непрерывная подача ультрачистого газа
  • Финишная очистка N2, He, Ne, Kr, Ar от H2, CO, CO2; H2O, O2 до уровней ppb и суб-ppt.
  • Финишная очистка CDA от H2S, H2O, CO2, аминов, кислотных газов, спиртов, NOx, NH3, силоксанов, SO2 до уровней ppb и суб-ppt.
  • Очистка при комнатной температуре — не требуется нагрев и электропитание.
  • Расход 210 — 1200 м3
— HX —
ВОДОРОД, АЗОТ, АРГОН
  • На порядок лучшая степень очистки, чем у стандартных очистителей.
  • Вдвое больший срок службы.
  • Финишная очистка H2, N2, Ar, Ne, Xe, Kr, от H2O, O2, CO, CO2; H2 (для очистителей азота и аргона), до уровней 100 ppt.
  • Очистка при комнатной температуре — не требуется нагрев и электропитание.
  • Расход от 3 л/мин до 150 м3

Особенности и преимущества очистителей GateKeeper GPU

  • Экономическая эффективность
  • Регенерируемость = низкозатратная эксплуатация
  • Использование чистых газов улучшает стабильность технологических процессов, увеличивает выход годных и продлевает время эксплуатации оборудования
  • Очиститель превращает дешевый газ ОСЧ в ультрачистый (экономия на стоимости исходного газа)
  • Экологичность
  • Регенерируемость — нет необходимости в утилизации отработавшего очистителя
  • Технологическая защита
  • Стабильная подача ультрачистого газа
  • Защита процессов и оборудования от всплесков высокой концентрации примесей при замене баллонов
  • Очистка технологических газов от углеводородов
  • Малое падение давления на очистителе
  • Техническая и сервисная поддержка
  • Безопасность и простота в использовании
  • Легкость в установке
  • Использование при комнатной температуре — без нагрева и подачи электроэнергии
  • Нет движущихся частей

Функциональные возможности

Макс. допустимый перепад давления: 1379 кПа
Мин. рабочее давление: 101 кПа
Скорость утечки: для 30KF до 10MH не более 1×10-9 атм∙см3
200M не более 4×10-9 атм∙см3
Макс. концентрация примесей во входном газе, допустимая для достижения заявленной чистоты очищенного газа: 10 ppm (частей-на-миллион)
Срок службы (до регенерации): Один год при номинальном расходе и концентрации примесей во входном газе 1 ppm
Макс. рабочая температура: -40…65°C

 

Модель Макс. расход,
лст/мин
Ном.
расход,
лст/мин
Макс. рабочее давление,
кПа
Падение давления,*
кПа
35K 1 0.5 19995 3.4
100K 20 2 6895 27.6
500K 60 12 4826 48.3
2500K 300 60 1724 17.2
10MH 1000 220 1724 1/2"-62
3/4"-36.5
200M * 20000 3500 1379 27.6

* Падение давления при максимальном расходе и давлении на входе 90 PSIG (620 кПа)

Конструктивное исполнение

Модель Соединение с трубопроводом Конфигурация (вход/выход)

Вес, кг

Длина,

мм

Диаметр,
мм

35K 1/4" торцевое

штуцер/штуцер

0.3 84 38
100K 1/4" торцевое штуцер/штуцер 0.5 84 152
500K 1/4" торцевое штуцер/штуцер 1.6 202 76
2500K 1/4" торцевое
1/2" торцевое
штуцер/штуцер штуцер/штуцер 9.5
9.5
439  447 102
102
10M 1/2" торцевое
3/4" торцевое
гайка/штуцер гайка/гайка 27
41
974  1433 152
152
200M 2" приварное - 454 кг 1659 1 11182 818 3

1 Высота 2 Глубина 3 Ширина

Серия HX

Функциональные возможности

Мин. рабочее давление: 133 кПа
Концентрация примесей на выходе <100 ppt по H2O, O2, CO, CO2; H2 (для очистителей азота и аргона)
Фильтрация: для 70KF до 13MH 0.003 мкм
17MH 20 мкм
Макс. концентрация примесей во входном газе, допустимая для достижения заявленной чистоты очищенного газа: 10 ppm (частей-на-миллион)
Срок службы (до регенерации): Один год при номинальном расходе и концентрации примесей во входном газе 1 ppm
Макс. рабочая температура: -40…65°C
Модель Макс. расход,
лст/мин
Ном.
расход,
лст/мин
Макс. рабочее давление,
кПа
Падение давления,*
кПа
70KF 3 2.8 20096 4.8
80KF 10 3.3 20096 2.8
200KF 20 8.2 4826 2.8
300KF 50 13 6996 48.3
500KF 60 26 4928 48.3
700KF 120 36 4928 48.3
2500KF 300 120 3583 96.5
2500KH 300 (1/4”) 500 (1/2”) 120 3583 27.6 20.7
10MH 1000 (1/2”) 1500 (3/4”) 450 3583 62 35.5
13MH 2000 570 3135 37.9
17MH 2500 725 3135 37.9

* Падение давления при максимальном расходе и давлении на входе 90 PSIG (620 кПа)

Конструктивное исполнение

Модель Соединение с трубопроводом Конфигурация (вход/выход) Вес, кг Длина, мм Диаметр, мм
70KF 1/4" торцевое штуцер/штуцер 0.4 114 38
80KF 1/4" торцевое штуцер/штуцер 0.5 127 38
200KF 1/4" торцевое штуцер/штуцер 0.5 165 51
300KF 1/4" торцевое штуцер/штуцер 1.6 208 51
500KF 1/4" торцевое штуцер/штуцер 1.6 202 76
700KF 1/4" торцевое штуцер/штуцер 1.6 254 76
2500KF 1/4" торцевое штуцер/штуцер 5.4 439 102
2500KH 1/4" торцевое 1/2" торцевое штуцер/штуцер 5.4 439 447 102
10MH 1/2" торцевое 3/4" торцевое гайка/штуцер штуцер/штуцер 27 41 974 143.3 152
13MH 3/4" торцевое штуцер/штуцер 24 896 152
17MH 1" торцевое штуцер/штуцер 45 1089 152
0