В современной промышленности все больше внимания уделяется повышению степени оптимизации производства. Наиболее остро эта проблема стоит на крупных высокотехнологичных предприятиях, где точность и контроль качества являются неотъемлемыми составляющими процесса на каждом этапе изготовления продукта. Использование в оборудовании для таких предприятий точных и надежных автоматизированных компонентов позволяет значительно снизить затраты и, таким образом, повысить качество готовой продукции.
Широкий спектр тонкопленочных покрытий на стеклянной поверхности сегодня используются во многих отраслях промышленности. В частности, различные просветляющие и отражающие пленки способны значительно изменить оптические свойства стекла, а также придать поверхности более эстетический вид. Однако вне зависимости от того, служит ли технология напыления для архитектурных целей, для солнечной энергетики или экологии, она остается очень требовательной к качеству нанесения. Для создания покрытий, отвечающих самым высоким стандартам, газовая система должна обеспечивать высокую степень однородности слоев. Компания Bronkhorst High-Tech B.V. предлагает решения, специально предназначенные для индустрии напыления, в том числе и для масштабных производств, где речь идет о напылении покрытий на поверхности большой площади.
Главными требованиями в технологии напыления на стеклянные поверхности являются однородность напыляемого слоя, максимально высокая производительность установки и снижение затрат на производство. Посредством контроля каждой газовой линии можно значительно повысить однородность толщины покрытия. Кроме того, оптимальной производительности системы можно достичь с помощью приборов, обеспечивающих устойчивый профиль потока, воспроизводимость и быстрое время отклика. Для снижения себестоимости производимой продукции подобные приборы должны без сбоев выдерживать круглосуточные рабочие нагрузки 7 дней в неделю. Помимо перечисленного, важными факторами при производстве оборудования для напыления являются стабильность электронных составляющих, надёжность механизмов, и, конечно, компактность.
Пример схемы газоподачи в установке напыления
Техническое решение
Обеспечение однородных слоев с помощью прецизионной регулировки газовых потоков.
Напыление – это процесс физического осаждения из паровой фазы (PVD), включающий бомбардировку материала покрытия ускоренными высоким напряжением ионами газа, которая вызывает выброс атомов с поверхности мишени. Извлеченные атомы затем осаждаются на подложке, формируя тонкопленочное покрытие по ее поверхности.
Усиленное плазмой физическое осаждение из газовой фазы (PEPVD), например магнетронное напыление, является наиболее эффективной технологией в этой области. Для этого процесса требуется инертный газ (как правило, используется аргон), однако в некоторых процессах напыления может потребоваться окисление или азотирование пленочного покрытия. В этом случае к инертному газу добавляется кислород и/или азот. Данный процесс подразумевает низкий уровень давления, однако поток рабочего газа должен быть достаточно мощным для осуществления процесса бомбардировки, иначе формирование и поддержание плазмы становится невозможным. Следовательно, расход газа должен тщательно контролироваться, чтобы обеспечить должные качество и однородность покрытия. Благодаря своему уникальному пропорциональному электромагнитному клапану, регуляторы массового расхода производства Bronkhorst High-Tech B.V. идеальны для этой задачи. Приборы позволяют осуществлять одновременно и очень быстрое, и плавное регулирование, обеспечивая превосходную стабильность и воспроизводимость.
Рекомендуемые приборы
Измерители и регуляторы массового расхода газа серии EL-FLOW® оснащаются корпусом, предназначенным для работы в лабораторных условиях. Уникальной особенностью данных приборов является широкий выбор рабочих диапазонов: от 0...1 н.мл/мин. до 0... 1670 н.л/мин. при давлении от вакуума до 400 бар.
Особенности серии:
- Быстрый отклик, превосходная воспроизводимость
- Высокая точность
- Независимость от внешнего давления и температуры
- Стабильность и надежность
- Возможность работы с аналоговыми и цифровыми входным/выходным сигналами
- Стандартный интерфейс RS-232
- Опциональные интерфейсы DeviceNetTM, PROFIBUS-DP®, MODBUS, EtherCAT® или FLOW-BUS.
Блок подачи газов на основе расходомеров серии EL-FLOW, линия магнетронного напыления, ООО "ГАРДИАН СТЕКЛО РЯЗАНЬ"
