info@massflow.ru
sales@massflow.ru
Расходомеры газа с металлическими уплотнениями ACU20FDMS
Термомассовые расходомеры газа серии ACU20FDMS разработаны для применения в полупроводниковой промышленности. Приборы имеют уплотнения «металл-по-металлу», что обеспечивает герметичность на два порядка выше, чем у приборов с эластомерными уплотнениями.
Приборы обладают высокой точностью измерения, что обеспечивается как особенностями теплового принципа измерения массового расхода, так и встроенной температурной компенсацией показаний. Расходомеры ACU20FDMS могут комплектоваться регулирующими клапанами, обеспечивающими быстрое и точное управление расходом. При необходимости конечный пользователь может настраивать параметры встроенного ПИД-регулятора прямо по месту эксплуатации, чтобы добиться оптимального характера регулирования.
Расходомеры ACU20FD имеют встроенный сенсорный экран для локальной индикации и управления. Наличие аналоговых и цифровых интерфейсов позволяет легко интегрировать расходомеры в автоматизированные системы управления.
Особенности
- Точность ±1% от ВПИ
- Уплотнения «металл-по-металлу», исключительная герметичность в течение долгого времени
- Повторяемость 0,2%
- Высокое быстродействие
- Сенсорный экран (опционально)
- Автоматическая температурная компенсация
- Встроенный ПИД-регулятор
- Низкий дрейф нуля
- Аналоговый или цифровой интерфейсы (RS232 / RS485 Modbus RTU, DeviceNet™, PROFIBUS, EtherCAT®)
- Высокая надежность
- Специализированное программное обеспечение «ACCU MFC V5.0» для управления работой расходомера через ПК
Применения
- Полупроводниковая промышленность
- Системы вакуумного напыления
- Аналитическое оборудование
- Научные исследования
- Специализированное программное обеспечение «ACCU MFC V5.0» для управления работой расходомера через ПК
| Измерительная часть | |||
| Минимальный диапазон расходов* | 0,02…2 н.мл/мин Воздух | ||
| Максимальный диапазон расходов* | 3…30 н.л/мин Воздух | ||
| Точность (калибровка при рабочих условиях) |
± 1% от ВПИ |
||
| Динамический диапазон |
100:1 (1…100% ВПИ) для измерителей 50:1 (2…100% ВПИ) для регуляторов |
||
| Повторяемость |
< 0,2% от показаний |
||
| Время отклика |
< 0,1 сек для измерителей < 0,2 сек для регуляторов |
||
| Рабочие температуры | 0…50°С | ||
| Рабочее давление |
Измерители: максимальное давление 100 бар Регуляторы: максимальное давление: 30 бар перепад давления 3…5 бар |
||
| Герметичность | < 1x10-11 (мбар∙л/с) по He | ||
| Время прогрева | 30 мин для оптимальной точности | ||
| Механические параметры | |||
| Материал конструкции | Нержавеющая сталь SS316L | ||
| Соединения с трубопроводом | компрессионного или торцевого типа | ||
| Уплотнения |
Внешнее: металл-по-металлу (без уплотнительных колец) Седло клапана (для регулятора): стандартно: FKM (фторкаучук), по запросу: EPDM, FFKM (Kalrez®) |
||
| Защита корпуса | IP40 | ||
| Электрические параметры | |||
| Напряжение питания | +24 В, шум не более 50 мВ | ||
| Входной/Выходной аналоговый сигнал | 0(1)…5 В или 4…20мА | ||
| Цифровой интерфейс |
RS-232 или RS-485, протокол Modbus RTU по запросу: DeviceNet™, PROFIBUS, EtherCAT® |
||
| Соединения |
Аналоговый/RS232 или RS485: RS485 Modbus: DeviceNet™: PROFIBUS: EtherCAT®: |
||
* возможен выбор любых промежуточных диапазонов
Техническая спецификация может быть изменена производителем без предварительного уведомления
Расходомеры
(возможен выбор любых промежуточных диапазонов)
| Модель | Диапазоны расхода (по воздуху) | |
| минимальный | максимальный | |
| ACU20FDMS-LM | 0,02...2 н.мл/мин | 0,3...30 н.л/мин |
Регуляторы расхода;
(возможен выбор любых промежуточных диапазонов)
|
Модель |
Диапазоны расхода (по воздуху) | |
| минимальный | максимальный | |
| ACU20FDMS-LC | 0,04...2 н.мл/мин | 0,6...30 н.л/мин |
