Расходомеры газа с металлическими уплотнениями ACU20FDMS

Добавить в избранное
Лабораторный термомассовый регулятор расхода газа с металлическими уплотнениями ACU20FDMS-LC

Регулятор ACU20FDMS-LC

Для заказа нужно ответить на несколько вопросов
Оперативный ответ можно получить в онлайн-чате или по телефону
Заказать Быстрый заказ
Лабораторные расходомеры ACU20FDMS для работы со сверхчистыми газами
Приборы этой серии работают в широком диапазоне расходов: от мин. 0,02...2 н.мл/мин до макс. 3...30 н.л/мин с точностью 1% от ВПИ. Расходомеры имеют лабораторное исполнение и выпускаются в конфигурациях измерителей или регуляторов расхода. Приборы с уплотнением «металл по металлу» разработаны специально для применения в полупроводниковой промышленности.

Термомассовые расходомеры газа серии ACU20FDMS разработаны для применения в полупроводниковой промышленности. Приборы имеют уплотнения «металл-по-металлу», что обеспечивает герметичность на два порядка выше, чем у приборов с эластомерными уплотнениями.

Приборы обладают высокой точностью измерения, что обеспечивается как особенностями теплового принципа измерения массового расхода, так и встроенной температурной компенсацией показаний. Расходомеры ACU20FDMS могут комплектоваться регулирующими клапанами, обеспечивающими быстрое и точное управление расходом. При необходимости конечный пользователь может настраивать параметры встроенного ПИД-регулятора прямо по месту эксплуатации, чтобы добиться оптимального характера регулирования.

Расходомеры ACU20FD имеют встроенный сенсорный экран для локальной индикации и управления. Наличие аналоговых и цифровых интерфейсов позволяет легко интегрировать расходомеры в автоматизированные системы управления.

Особенности

  • Точность ±1% от ВПИ
  • Уплотнения «металл-по-металлу», исключительная герметичность в течение долгого времени
  • Повторяемость 0,2%
  • Высокое быстродействие
  • Сенсорный экран (опционально)
  • Автоматическая температурная компенсация
  • Встроенный ПИД-регулятор
  • Низкий дрейф нуля
  • Аналоговый или цифровой интерфейсы (RS232 / RS485 Modbus RTU, DeviceNet™, PROFIBUS, EtherCAT®)
  • Высокая надежность
  • Специализированное программное обеспечение «ACCU MFC V5.0» для управления работой расходомера через ПК

Применения

  • Полупроводниковая промышленность
  • Системы вакуумного напыления
  • Аналитическое оборудование
  • Научные исследования
  • Специализированное программное обеспечение «ACCU MFC V5.0» для управления работой расходомера через ПК
Измерительная часть
Минимальный диапазон расходов* 0,02…2 н.мл/мин Воздух
Максимальный диапазон расходов* 3…30 н.л/мин Воздух
Точность (калибровка при рабочих условиях)

± 1% от ВПИ

Динамический диапазон

100:1 (1…100% ВПИ) для измерителей

50:1 (2…100% ВПИ) для регуляторов
Повторяемость

< 0,2% от показаний

Время отклика

< 0,1 сек для измерителей

< 0,2 сек для регуляторов

Рабочие температуры 0…50°С
Рабочее давление

Измерители:

максимальное давление 100 бар

Регуляторы:

максимальное давление: 30 бар

перепад давления 3…5 бар
Герметичность < 1x10-11 (мбар∙л/с) по He
Время прогрева 30 мин для оптимальной точности
Механические параметры
Материал конструкции Нержавеющая сталь SS316L
Соединения с трубопроводом компрессионного или торцевого типа
Уплотнения

Внешнее:

металл-по-металлу (без уплотнительных колец)

Седло клапана (для регулятора):

стандартно: FKM (фторкаучук),

по запросу: EPDM, FFKM (Kalrez®)

Защита корпуса IP40
Электрические параметры
Напряжение питания +24 В, шум не более 50 мВ
Входной/Выходной аналоговый сигнал 0(1)…5 В или 4…20мА
Цифровой интерфейс

RS-232 или RS-485, протокол Modbus RTU

по запросу: DeviceNet™, PROFIBUS, EtherCAT®
Соединения

Аналоговый/RS232 или RS485:
9-ти контактный разъем sub-D (вилка)

RS485 Modbus:
2 х RJ11 (розетка)

DeviceNet™:
5-ти контактный M12 (вилка)

PROFIBUS:
9-ти контактный разъем sub-D (розетка)

EtherCAT®:
2 x RJ45 (розетка)

* возможен выбор любых промежуточных диапазонов

Техническая спецификация может быть изменена производителем без предварительного уведомления

 

Расходомеры
(возможен выбор любых промежуточных диапазонов)

Модель Диапазоны расхода (по воздуху)
минимальный максимальный
ACU20FDMS-LM 0,02...2 н.мл/мин 0,3...30 н.л/мин

Регуляторы расхода;
(возможен выбор любых промежуточных диапазонов)

Модель

Диапазоны расхода (по воздуху)
минимальный максимальный
ACU20FDMS-LC 0,04...2 н.мл/мин 0,6...30 н.л/мин